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超凈工作臺配套高效過濾器測試操作規程
來源:http://www.10010w.com/  發布時間:2014-10-27 08:30:35  點擊數:6435

超凈工作臺配套高效過濾器測試操作規程

1準備工作

卸下高效過濾器的散流板,對箱體和框架的外表面進行清潔,避免積塵對檢測產生干擾。

關閉潔凈室(區)的防火報警裝置,避免測試期間因煙霧泄漏造成誤會。

確定上游濃度驗證孔。

準備好惰性氣體的氣源(通常使用氮氣或者壓縮空氣)。

高效過濾器的完整性測試文章參考:http://www.10010w.com/article/20120430224152.html

2氣溶膠煙霧的引入

    向4B氣溶膠發生器中加入適量PAO液體,連接氣源,找到風機的吸風口處,通過發煙管直接將氣溶膠通過吸風口送到高效過濾器上游;打開發生器開關,打開氣源,氣源壓力調到20psig-30psig,調節氣溶膠煙霧的輸出量。

3 0基準和100%基準的設定

確認光度計選擇閥處在CLEAR的位置。將電源開關設置到1(On)的位置,按ENTER鍵,設置零基準線。

采樣管穿過驗證孔,一端與上游(高效過濾器進風側)采樣口連接,另一端與氣溶膠光度計接通。光度計選擇閥撥到UPSTREAM位置,測定上游氣溶膠濃度。調節氣溶膠發生器輸出閥的開合度,直至確認上游濃度達到20-80μg/L,并保持相對穩定。按100鍵,然后按ENTER鍵,設定100%基準。

100%基準線成功設置之后,<0>指示燈將閃爍,表明0%基準線必須進行校正。將選擇閥設置到CLEAR,并按ENTER鍵,0%基準線得到校正。

4光度計掃描

選擇閥轉向<DOWNSTREAM>,將矩形采樣頭與光度計連接,對被檢過濾器整個斷面、封膠頭和安裝框架間進行掃描。掃描速率=15÷掃描探頭垂直掃描方向的尺寸。

掃描時速度約2cm/s,掃描按直線來回往復地進行,掃描的覆蓋面之間略有重疊。采樣探頭距過濾器出風面和框架結構約3cm。掃描應遍及過濾器的整個出風面、過濾器周邊、過濾器邊框與安裝架構之間的密封處及安裝架構的結合點。

任何等于或大于已指定限值的跡象時,都應將掃描探頭在相應位置持續相當時間,憑借該位置較長時間內顯示的最大值做出判斷。

原始記錄上畫出示意圖,標明泄漏位置和最大泄漏值。

注意:掃描過程中避免箱體上的積灰干擾,采樣頭不能碰到高效風口箱體或過濾器的框架。

在掃描工作中間及最后,核查上游氣溶膠濃度,以確定其穩定性。當上游氣溶膠濃度變化超過±15%時,重新設定100%基準,并追溯檢查。

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