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高效過濾器現(xiàn)場安裝以后檢漏是確認(rèn)高效過濾器及配套的安裝靜壓箱，沒有發(fā)現(xiàn)泄漏或微量泄漏是在規(guī)范允許的范圍之內(nèi)。如果高效過濾器裝置經(jīng)檢漏是合格的，可以確保潔凈室的安全可靠的運(yùn)行，如此時(shí)室內(nèi)潔凈度仍未達(dá)標(biāo)，應(yīng)從潔凈室的其它方面查找原因。高效過濾器安裝后的檢漏不同于過濾器廠家在工廠里的效率測試。

后者僅對(duì)過濾器的效率和其它相關(guān)性能測試，而前者涉及高效過濾器和安裝過程中相關(guān)的多種因素而產(chǎn)生的泄漏，高效過濾器安裝后檢漏通常在空態(tài)或靜態(tài)下進(jìn)行，同時(shí)建議在潔凈室風(fēng)量平衡及正負(fù)壓調(diào)試以后進(jìn)行，新建成的潔凈室或更換終端高效過濾器后均應(yīng)作檢漏測試，《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》（下簡稱規(guī)范）第 3.4.4條，有“經(jīng)檢查和檢漏合格的應(yīng)立即安裝”，指現(xiàn)場檢漏合格以后，再安裝高效過濾器，事實(shí)上很難具備這樣的檢漏條件。

不可能做到，而根據(jù)規(guī)范附錄六的要求是安裝后進(jìn)行高效過濾器的掃描法檢漏，檢漏時(shí)，從高效過濾器的上風(fēng)側(cè)引入氣溶膠，并同時(shí)在高效過濾器的下風(fēng)側(cè)進(jìn)行掃描檢漏，以檢漏高效過濾器的過濾介質(zhì)，密封膠過濾器框架，密封墊片等處有無泄漏，這里暫不討論管道內(nèi)及空調(diào)器內(nèi)的高效過濾器檢漏，只對(duì)安裝在潔凈室終端及相關(guān)凈化設(shè)備內(nèi)的高效過濾器的檢漏方法作一些簡單的討論。

2、高效過濾器上游氣溶膠

將冷發(fā)霧方法產(chǎn)生的多分散相氣溶膠引入高效過濾器的上風(fēng)側(cè)空氣中。使其達(dá)到需要的氣溶膠濃度。規(guī)范上要求以大于或等于 0.5μm 的微粒為準(zhǔn)。氣溶膠的材料有 DOP（鄰苯二甲酸二辛酯）、PAO（聚乙烯烴）、DOS（葵二酸二辛酯）等，這些氣溶膠的檢漏原理是一樣的，規(guī)范上要求高效過濾器上風(fēng)側(cè)的微粒濃度（≥0.5μm）必須大于或等于 3.5×104 粒子 /L。事實(shí)上，在空調(diào)器內(nèi)發(fā)塵，過濾器上風(fēng)側(cè)的濃度較難達(dá)到要求，必須導(dǎo)入足夠數(shù)量的氣溶膠，且長時(shí)間地發(fā)塵將會(huì)影響高效過濾器的使用壽命。所以，高效過濾器的檢漏，在高效過濾器送風(fēng)口的靜壓箱內(nèi)發(fā)塵為首選，不具備條件的，也可以考慮在送風(fēng)管上導(dǎo)入DOP 的氣溶膠。

3、等速采樣

在有速度的氣流中采樣，采樣速度應(yīng)等于氣流速度，否則采樣濃度將大于或小于真實(shí)濃度，即氣流速度大于采樣速度，采樣濃度將大于真實(shí)濃度，反之，氣流速度小于采樣速度，采樣濃度將小于真實(shí)濃度。

假定高效過濾器下實(shí)際斷面風(fēng)速為 0.45 m/s，圓形取樣口直徑 Ds 的計(jì)算：

V×1/4×πDs =Fa 2

Fa —— 儀器采樣量，28.3 L/min=472 cm3/s

V —— 過濾器面風(fēng)速 0.45 m/s

經(jīng)計(jì)算 Ds=36. 5 mm

實(shí)際上儀器的取樣口直徑為 35 mm 或正方形 30×30 mm，當(dāng)然取樣口也可以是長方形的，經(jīng)計(jì)算此時(shí)的采樣速度為 0.49 ～ 0.52 m/s，可以認(rèn)為是等速采樣。

根據(jù)國際標(biāo)準(zhǔn)組織 (ISO) 關(guān)于潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的測試和測試方法 (ISO14644-3) 中公式計(jì)算：Sr ≤ Cc×Ps×K×Dp×Fs/Np=50×0.005%×10×3.5×472/Np式中：Sr －探管掃描速率 cm/s；

Cc －被測過濾器上風(fēng)向氣溶膠濃度 cm-3 (50粒子 /cm3)；

Ps －被測過濾器最易穿透粒徑最大允許整體穿透率；

PL －被測過濾器的最大允許泄漏；

K －一個(gè)因數(shù)，表示 PL 可能比 Ps 大多少倍；

Dp －平行于掃描方向的探管尺寸 (cm)，本文使用圓形采樣管，直徑 35 mm；

Fs －離散粒子計(jì) 數(shù) 器的標(biāo) 準(zhǔn) 樣品流量，

Fs=472 cm3/s (28.3 L/min)；

Np －預(yù)期量，表現(xiàn)出泄漏特征的粒子計(jì)數(shù)值；

用下式計(jì)算：

Np=Cc×Ps×K×Fs

Np=Cc×Ps×K×Fs=50×0.005%×10×472=11.8 個(gè)，代入 Sr式得 Sr=Cc×Ps×K×Dp×Fs/Np

=50×0.005%×10×3.5×472/11.8= 3.5(cm/s)

每個(gè)測點(diǎn)實(shí)際獲得時(shí)間 Ts=Dp/Sr=1 s

所以，采樣口的掃描速率是和上游粒子濃度穿透率、K 值、采樣口的口徑、采樣流量有著密切的關(guān)系。特別需要指出的是，如采用 28.3 L/min 的粒子計(jì)數(shù)器和 2.83 L/min 的粒子計(jì)數(shù)器，他們的掃描速率可以相差十倍，也就是講，每檢測一個(gè)過濾器的時(shí)間也相差十倍。

規(guī)范要求掃描速率為 5 ～ 20mm/s ( 其實(shí)這個(gè)速率是應(yīng)該根據(jù)具體情況可以計(jì)算調(diào)整的，一般建議采用 28.3 L/min 的粒子計(jì)算器，掃描速率在 30 ～ 5mm/s 左右 )。

規(guī)范第 5.4.1 條指出“對(duì)于高效過濾器，應(yīng)不大于過濾器出廠合格透過率的 2 倍，對(duì)于超高效過濾器，應(yīng)不大于出廠合格透過率的 3 倍。”而根據(jù)條文說明的第四節(jié)評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)則相反，高效過濾器的透過率是 3 倍，而超高效過濾器的是 2 倍。從提供的數(shù)據(jù)來看，應(yīng)該是以條文為準(zhǔn)。

如果上游濃度為 3.5×104 粒子 /L，0.5μm 的高效過濾器效率是99.99％，下游濃度為 3.5×104×0.01%×3=10.5。如果粒子計(jì)算器檢測≤ 10 應(yīng)為合格，否則應(yīng)進(jìn)行修復(fù)，修補(bǔ)總面積不能超過過濾器截的 5％，每個(gè)修補(bǔ)點(diǎn)修補(bǔ)的最大長度必須在 40mm以下。

本文用 ISO 14644-3 的檢漏方法及有關(guān)計(jì)算。如上述，Np 是表泄漏特征的粒子數(shù)，在 Np=11.8 時(shí)，可接受觀測計(jì)數(shù) Ca=7 個(gè)。在檢漏中，塵埃粒子讀數(shù)C ≤ Ca 時(shí)，認(rèn)為掃描區(qū)域無泄露，可繼續(xù)掃描，否則，要做靜態(tài)測定。靜態(tài)測定時(shí)，采樣頭在測點(diǎn)的滯留時(shí)間設(shè)定為 10 秒鐘，此時(shí)測得的最大粒子數(shù)為Npa：Npa=Cc×PL×FS×K=50×0.005%×10×472×10=118，這是采樣流量為 472 cm3/s，采樣時(shí)間為 10 s 時(shí)的讀數(shù)值，大于此數(shù)可判斷為泄漏。

如果系統(tǒng)總風(fēng)量不大，DOP 發(fā)塵可直接送入總風(fēng)管。如果 DOP 發(fā)塵的總量不夠，達(dá)不到預(yù)計(jì)的濃度要求，可將 DOP 直接發(fā)入高效送風(fēng)口的靜壓箱。需要指出的是，上游的氣溶膠濃度需要檢測。如果穩(wěn)定后，可對(duì)每個(gè)過濾器進(jìn)行泄漏檢測。如果上游的氣溶膠濃度太高，粒子計(jì)數(shù)器無法檢測，可通過稀釋的方法來進(jìn)行測量，在檢測中，如果室內(nèi)干擾因素太多，為排除干擾，可在風(fēng)口出口加隔離罩，在罩內(nèi)進(jìn)行檢測，這樣檢測的數(shù)據(jù)較為準(zhǔn)確，尤其要注意的是，在過濾器和安裝框架之間的檢漏，可以沿安裝框架檢漏，也可以送風(fēng)口箱體斷面上檢漏，但要排除卷吸氣流的干擾，要避免箱體上的積灰干擾，尤其是采樣口不能接觸高效風(fēng)口箱體或過濾器的框架，在高效過濾器上風(fēng)側(cè)發(fā) DOP 檢漏時(shí)，在高效過濾器的上風(fēng)側(cè)必須設(shè)有 DOP 的導(dǎo)入裝置及濃度檢測管。這兩個(gè)管子也可以用來檢測過濾器的阻力。

4、結(jié)論

（1）高效過濾器安裝以后必須要進(jìn)行檢漏；

（2）要計(jì)算 DOP 的發(fā)塵量及系統(tǒng)風(fēng)量，確定DOP 導(dǎo)入地點(diǎn)；

（3）要測量高效過濾器上游的粒子濃度；

（4）根據(jù)規(guī)范按 0.5μm 的粒徑來檢漏，需要確定正確的K值。如果采用不是0.5μm的粒徑來檢漏，建議可按 ISO14644-3 的標(biāo)準(zhǔn)來確定 K 值；

（5）建議采用 28.3 L/min 的粒子計(jì)數(shù)器來檢漏。如果采用 2.83 L/min 的粒子計(jì)數(shù)器，必須控制掃描速度。

具體可參考：http://www.10010w.com/