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技術領域
本實用新型涉及檢測設備技術領域，特別是涉及一種高效過濾器檢測機的三維移動裝置。
背景技術
高效過濾器(High efficiency particulate air Filter，簡稱HEPA)具有較高的過濾效率，可以對0.5μm以下的顆粒灰塵及各種懸浮物進行過濾，現已廣泛應用于光學電子、生物醫藥以及PCB印刷等無塵凈化車間。
為了保證高效過濾器的過濾效果，高效過濾器在出廠時都需要采用高效過濾器檢測機對其進行嚴格的檢漏，其中，常見的高效過濾器的檢漏方法主要包括納焰法、油物法、以及DOP法等，而這些檢漏方法在實際操作過程中都需要將待檢測的高效過濾器安置于出氣平臺上，以使含有特性顆粒的氣體可以通過出氣平臺進入高效過濾器，從而通過檢測高效過濾器上方的氣體以對高效過濾器進行檢漏。
上述高效過濾器檢測機的檢測過程中，通常是通過固定于機架的頂部的三維移動裝置以帶動氣體檢測探頭在高效過濾器的上方移動，實現對高效過濾器上方的不同位置(即X軸、Y軸和Z軸方向)的氣體的檢測。
一般的，該三維移動裝置分別是由與X軸、Y軸和Z軸方向對應且依次聯動的三個絲桿傳動機構構成，其中，作為最先移動的絲桿傳動機構受其他兩個絲桿傳動機構的影響，在移動過程中易出現晃動，使該三維移動裝置無法平穩地移動氣體檢測探頭，從而影響檢測結果。
實用新型內容
為了解決上述問題，本實用新型提供一種高效過濾器檢測機的三維移動裝置，可以平穩地移動氣體檢測探頭，從而提高檢測結果的準確性。
一種高效過濾器檢測機的三維移動裝置，包括：連接板、X軸絲桿傳動機構、Y軸絲桿傳動機構、Z軸絲桿傳動機構以及分設于所述連接板兩端的兩個導軌機構，所述導軌機構包括直線導軌以及與所述直線導軌滑動配合的滑塊，所述滑塊的一側設有與所述直線導軌卡接配合的凹口，所述滑塊的另一側以可拆卸方式固定于所述連接板上；所述X軸絲桿傳動機構包括X軸固定座、固定于所述X軸固定座上的X軸電機、與所述X軸電機的輸出軸連接的X軸絲桿；所述連接板的中部設有與所述X軸絲桿相配合的螺母，兩個所述直線導軌平行設置于所述X軸絲桿的兩側；所述Y軸絲桿傳動機構包括Y軸固定座、固定于所述Y軸固定座上的Y軸電機、與所述Y軸電機的輸出軸連接的Y軸絲桿以及與所述Y軸絲桿螺紋連接的Y軸滑塊，所述連接板上還設有與所述Y軸固定座連接的扣接件；所述Z軸絲桿傳動機構固定于所述Y軸滑塊上，所述Z軸絲桿傳動機構的輸出端與外部的氣體檢測探頭連接。
作為優選方案，所述直線導軌呈板狀，且其與所述凹口的端部相接觸的兩側面內凹形成弧形面，所述凹口的端部被配置為與所述弧形面接觸配合的倒扣部。
作為優選方案，所述導軌機構還包括基板以及與所述直線導軌的兩端分別對應的支座，所述支座固定于所述基板上。
作為優選方案，所述X軸絲桿傳動機構還包括兩個固定于所述X 軸固定座上且分設于所述X軸絲桿兩端的X軸絲桿支撐座。
作為優選方案，所述Y軸絲桿傳動機構還包括兩個固定于所述Y 軸固定座上且分設于所述Y軸絲桿兩端的Y軸絲桿支撐座。
作為優選方案，所述扣接件的數量為兩個，且對稱設置于所述螺母的兩側。
作為優選方案，所述扣接件包括相背設置的兩個彈性倒扣，所述 Y軸固定座上設有與所述彈性倒扣扣接配合的開口。
與現有技術相比，本實用新型的有益效果在于：
本實用新型通過設置連接板并在連接板的中部設置與X軸絲桿相配合的螺母，以便于形成絲桿螺母傳動副；與此同時，還在連接板的兩端設置導軌機構，并使導軌機構具有與X軸絲桿平行設置的直線導軌，而連接板與直線導軌之間通過與直線導軌滑動配合的滑塊連接，如此，可以對連接板的兩端形成平衡的牽引，從而避免連接板在沿X軸絲桿移動的過程中因其懸掛有Y軸絲桿傳動機構和Z軸絲桿傳動機構而造成的晃動，從而可以使得所述三維移動裝置在工作時，可以平穩地移動氣體檢測探頭，從而提高檢測結果的準確性。
附圖說明
圖1是本實用新型實施例中高效過濾器檢測機的三維移動裝置的結構示意圖；
圖2是本實用新型實施例中高效過濾器檢測機的結構示意圖。
其中，100、三維移動裝置；200、機架；300、出氣平臺；1、連接板；2、X軸絲桿傳動機構；21、X軸固定座；22、X軸電機；23、 X軸絲桿；24、X軸絲桿支撐座；3、Y軸絲桿傳動機構；31、Y軸固定座；32、Y軸電機；33、Y軸絲桿；34、Y軸絲桿支撐座；4、Z軸絲桿傳動機構；5、導軌機構；51、直線導軌；52、滑塊；53、基板； 54、支座；6、扣接件；61、彈性倒扣；7、螺母；8、氣體檢測探頭。
具體實施方式
下面結合附圖和實施例，對本實用新型的具體實施方式作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本實用新型，但不用來限制本實用新型的范圍。
圖2為本實施例中高效過濾器檢測機的結構示意圖，該檢測機在檢測時，通常會將待檢測的高效過濾器壓緊于出氣平臺300的上表面，而氣體檢測探頭8會通過固定于機架200的頂部的三維移動裝置100 對所述高效過濾器的上方不同位置的氣體進行檢測。
如圖1所示，該三維移動裝置100包括沿X軸方向設置的X軸絲桿傳動機構2、沿Y軸方向設置的Y軸絲桿傳動機構3以及沿Z 軸方向設置的Z軸絲桿傳動機構4，其中，在移動所述氣體檢測探頭 8到達指定位置的過程中，是依次通過所述X軸絲桿傳動機構2、所述Y軸絲桿傳動機構3以及所述Z軸絲桿傳動機構4的聯動來實現的。而所述Z軸絲桿傳動機構4是固定于所述Y軸絲桿傳動機構3 后一起懸掛于所述X軸絲桿傳動機構2上的。
具體的，所述X軸絲桿傳動機構2包括X軸固定座21、固定于所述X軸固定座21上的X軸電機22、與所述X軸電機22驅動連接的X軸絲桿23；所述Y軸絲桿傳動機構3包括Y軸固定座31、固定于所述Y軸固定座31上的Y軸電機32、與所述Y軸電機32的輸出軸連接的Y軸絲桿33以及與所述Y軸絲桿33螺紋連接的Y軸滑塊52；而所述Z軸絲桿傳動機構4固定于所述Y軸滑塊52上，所述 Z軸絲桿傳動機構4的輸出端與所述氣體檢測探頭8連接。
本實施例中還設有連接板1和分設于所述連接板1兩端的兩個導軌機構5。其中，所述連接板1的中部設有與所述X軸絲桿23相配合的螺母7，以形成絲桿螺母7傳動副，而所述Y軸固定座31通過設于所述連接板1上的扣接件6與所述連接板1固定。
每個所述導軌機構5均包括直線導軌51以及與所述直線導軌51 滑動配合的滑塊52，其中，所述滑塊52的一側設有與所述直線導軌 51卡接配合的凹口，所述滑塊52的另一側以可拆卸方式(例如螺紋連接方式)固定于所述連接板1上。而兩個所述直線導軌51平行設置于所述X軸絲桿23的兩側，以便于所述連接板1移動的過程中對所述連接板1形成平衡的牽引力。如此，在連接板1沿X軸絲桿23 移動的過程中可以避免因Y軸絲桿傳動機構3和Z軸絲桿傳動機構4 而造成的晃動，從而平穩地移動氣體檢測探頭8，提高檢測結果的準確性。
為了便于裝配所述滑塊52與所述直線導軌51，示例性的，可以將所述直線導軌51設置為板狀，且使其與所述凹口的端部相接觸的兩側面內凹形成弧形面，而將所述凹口的端部配置為與所述弧形面接觸配合的倒扣部。
當然，還可以在所述導軌機構5中增設基板53以及與所述直線導軌51的兩端分別對應的支座54，并將所述支座54固定于所述基板53上，以保證所述直線導軌51的穩定性。而所述X軸絲桿傳動機構2可以兩個固定于所述X軸固定座21上且分設于所述X軸絲桿 23兩端的X軸絲桿支撐座24。所述Y軸絲桿傳動機構3中可以增設兩個固定于所述Y軸固定座31上且分設于所述Y軸絲桿33兩端的 Y軸絲桿支撐座34。
為了降低Y軸絲桿傳動機構3在X軸絲桿傳動機構2移動過程中其本身的晃動，示例性的，還可以將所述扣接件6的數量設置為兩個，且將其對稱設置于所述螺母7的兩側，以將所述Y軸固定座31 穩定地固定于所述連接板1上。而所述Y軸固定座31與所述連接板 1之間可以通過扣接的方式裝配，例如，可以使所述扣接件6具有相背設置的兩個彈性倒扣61，而所述Y軸固定座31上設有與所述彈性倒扣61扣接配合的開口，從而便于所述Y軸絲桿傳動機構3與所述連接板1之間的裝拆維護。
以上所述僅是本實用新型的優選實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型技術原理的前提下，還可以做出若干改進和替換，這些改進和替換也應視為本實用新型的保護范圍。